2024年07月25日 13:47:53SK海力士將更環(huán)保氣體運用于芯片清潔工藝
《科創(chuàng)板日報》25日訊，SK海力士已將其在芯片生產的一些清潔工藝步驟中使用的氣體替換為更環(huán)保的氣體。該公司進行了用全球變暖潛值 (GWP) 較低的氣體替代三氟化氮 (NF3) 的測試。目前，該廠商已用GWP為0的F2氣體取代了一些工藝步驟。 (the elec)
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