2024年07月25日 13:47:53
SK海力士將更環(huán)保氣體運用于芯片清潔工藝
《科創(chuàng)板日報》25日訊，SK海力士已將其在芯片生產(chǎn)的一些清潔工藝步驟中使用的氣體替換為更環(huán)保的氣體。該公司進行了用全球變暖潛值 (GWP) 較低的氣體替代三氟化氮 (NF3) 的測試。目前，該廠商已用GWP為0的F2氣體取代了一些工藝步驟。 (the elec)
收藏
閱352.29W
我要評論
歡迎您發(fā)表有價值的評論，發(fā)布廣告和不和諧的評論都將會被刪除，您的賬號將禁止評論。
發(fā)表評論
關(guān)聯(lián)話題
8.55W 人關(guān)注
1.84W 人關(guān)注
1.82W 人關(guān)注
9469 人關(guān)注