2024年09月06日 15:53:03
ASML稱(chēng)次先進(jìn)DUV出口需獲得荷蘭政府許可
《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》6日訊,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)在官網(wǎng)發(fā)布聲明稱(chēng),荷蘭政府今日公布了浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)出口新規(guī),自9月7日起生效。這意味著,ASML需要向荷蘭政府申請(qǐng)出口許可證才能發(fā)運(yùn)TWINSCAN NXT:1970i和1980i DUV光刻機(jī)。此前,ASML最先進(jìn)的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī)(即TWINSCAN NXT:2000i及后續(xù)推出的浸潤(rùn)式DUV光刻機(jī))已被限制,需要荷蘭許可證才能發(fā)運(yùn)。此外,ASML EUV光刻機(jī)的銷(xiāo)售也需要許可證。
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