2024年09月14日 15:15:48
東方晶源PanGen DMC完成驗(yàn)證
《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》14日訊,東方晶源宣布PanGen DMC完成驗(yàn)證。在國(guó)內(nèi)某先進(jìn)節(jié)點(diǎn)FAB內(nèi)實(shí)測(cè)結(jié)果表明,東方晶源PanGen DMC在全芯片尺度上預(yù)測(cè)結(jié)果與實(shí)際的差距在超過99%的版圖位置上小于1nm;針對(duì)Design上的嚴(yán)重缺陷,DMC能在其送入OPC之前提前預(yù)判,Capture Ratio超過90%。
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