《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》4日訊，盛美上海宣布，其單晶圓中/高溫硫酸過氧化混合物（SPM）設(shè)備已成功通過一家邏輯芯片制造商的大批量制造驗(yàn)證。截止目前，該設(shè)備已交付了13家客戶。