《科創(chuàng)板日報》28日訊，格科微27日宣布，公司“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產業(yè)化項目”推進迅速。廠房和潔凈車間建設已經基本完成，今年2月16日開始搬入安裝主設備。3月24日，ASML先進ArF光刻機成功搬入，其也是整套生產線中的最關鍵設備。